标准介绍
GB/T 44517-2024微机电系统（MEMS）技术 MEMS膜残余应力的晶圆曲率和悬臂梁挠度试验方法最新版内容查询，英语名称Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Wafer curvature and cantilever beam deflection test methods for determining residual stresses of MEMS films，发布日期：2024-09-29，实施日期：2025-04-01，GB/T44517-2024微机电系统（MEMS）技术MEMS膜残余应力的晶圆曲率和悬臂梁挠度试验方法国家标准最新版免费下载
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