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GB/T44515-2024微机电系统(MEMS)技术MEMS压电薄膜机电转换特性测量方法

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GB/T 44515-2024微机电系统(MEMS)技术 MEMS压电薄膜机电转换特性测量方法最新版内容查询,英语名称Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film,发布日期:2024-09-29,实施日期:2025-01-01,GB/T44515-2024微机电系统(MEMS)技术MEMS压电薄膜机电转换特性测量方法国家标准最新版免费下载

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