标准介绍
GB/T 43313-2023碳化硅抛光片表面质量和微管密度的测试 共焦点微分干涉法最新版内容查询，英语名称Test method for surface quality and micropipe density of polished silicon carbide wafers—Confocal and differential interferometry optics，发布日期：2023-11-27，实施日期：2024-06-01，GB/T43313-2023碳化硅抛光片表面质量和微管密度的测试共焦点微分干涉法国家标准最新版免费下载
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