标准介绍
GB/T 42897-2023微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法最新版内容查询，英语名称Micro-electromechanical systems（MEMS） technology—Tensile strength test method for nano-scale membranes of silicon based MEMS，发布日期：2023-08-06，实施日期：2023-12-01，GB/T42897-2023微机电系统（MEMS）技术硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法国家标准最新版免费下载
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