标准介绍
GB/T 38614-2020基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法最新版内容查询，英语名称Measuring method for nano positioning and scanning stage based on flexible hinge mechanism and piezo actuator，发布日期：2020-04-28，实施日期：2020-11-01，GB/T38614-2020基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法国家标准最新版免费下载
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