标准介绍
GB/T 38447-2020微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法最新版内容查询，英语名称Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration，发布日期：2020-03-06，实施日期：2020-07-01，GB/T38447-2020微机电系统（MEMS）技术MEMS结构共振疲劳试验方法国家标准最新版免费下载
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