标准介绍
GB/T 34893-2017微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法最新版内容查询，英语名称Micro-electromechanical system technology—Measuring method for in-plane length measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer，发布日期：2017-11-01，实施日期：2018-05-01，GB/T34893-2017微机电系统（MEMS）技术基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法国家标准最新版免费下载
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