标准介绍
GB/T 28277-2012硅基MEMS制造技术 微键合区剪切和拉压强度检测方法最新版内容查询，英语名称Silicon-based MEMS fabrication technology - Measurement method of cutting and pull-press strength of micro bonding area，发布日期：2012-05-11，实施日期：2012-12-01，GB/T28277-2012硅基MEMS制造技术微键合区剪切和拉压强度检测方法国家标准最新版免费下载
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