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GB/T26113-2010微机电系统（MEMS）技术微几何量评定总则

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标准介绍

GB/T 26113-2010微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则最新版内容查询，英语名称Micro-electromechanical system technology - General rules for the assessment of micro-geometrical parameters，发布日期：2011-01-10，实施日期：2011-10-01，GB/T26113-2010微机电系统（MEMS）技术微几何量评定总则国家标准最新版免费下载

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