标准介绍
GB/T 14141-2009硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法最新版内容查询，英语名称Test method for sheet resistance of silicon epitaxial, diffused and ion-implanted layers using a collinear four-probe array，发布日期：2009-10-30，实施日期：2010-06-01，GB/T14141-2009硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定直排四探针法国家标准最新版免费下载
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