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GB/T10067.417-2023电热和电磁处理装置基本技术条件第417部分:碳化硅单晶生长装置

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GB/T 10067.417-2023电热和电磁处理装置基本技术条件 第417部分:碳化硅单晶生长装置最新版内容查询,英语名称Basic specifications for electroheating and electromagnetic processing installations—Part 417:Silicon carbide crystal growth installations,发布日期:2023-05-23,实施日期:2023-12-01,GB/T10067.417-2023电热和电磁处理装置基本技术条件第417部分:碳化硅单晶生长装置国家标准最新版免费下载

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